DI wafer (초순수) 와 불화수소 정리 반도체 공정에서 물은 상당히 많이 쓰이고 있는데요. 이런 물이 일상에서 쓰는 물과는 다르다는 것을 많이들 알고 계실 것입니다. 반도체 공정에서 물의 사용처 반도체 제조 공정 공정 가스 정화(Scrubber) 클린룸의 온/습도 조절 등 반도체 제조 공정에 사용되는 물, ‘초순수’에 대해 알아보자구요! DI wafer 란?! 초순수 란? 'DI water, ‘초순수’란 무엇일까요? 초순수 = UPW (Ultra Pure Water) 초순수(UPW, Ultra Pure Water)란 일반적인 물 속의 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 순수 이온외 다른 것들을 모두 제거한 "정제된 물"입니다. 이온 성분을 제거했다는 의미로 DIW(De-ionize..
